MEMS-Sonden

Veco ist der größte unabhängige Hersteller von MEMS-Sonden für die Front-End-Fertigung und Wafer-Prüfungen.

MEMS-Sonden

MEMS-Sonden werden in der Front-End-Fertigung und bei Wafer-Prüfungen eingesetzt, um die Leistung elektrischer Geräte wie integrierter Schaltkreise und MEMS-Sensoren zu bestimmen.

Mit der weltweit führenden Elektroforming-Präzisionsfertigungstechnologie ist Veco der größte unabhängige Hersteller von MEMS-Sonden für die Front-End-Fertigung und Wafer-Prüfungen und bietet der Branche innovative Lösungen für komplexe Anforderungen. Elektrogeformte Vertikalsonden können mit einem sehr stabilen Kontaktwiderstand und hervorragenden mechanischen und elektrischen Eigenschaften hergestellt werden. Unsere hochmoderne lithografische Ausrüstung ermöglicht die schnelle, präzise und wirtschaftliche Herstellung von Tausenden von Sonden in einer einzigen Charge. Jede einzelne Sonde wird sorgfältig kontrolliert, um die anspruchsvollsten Qualitätsstandards zu erfüllen und die Konsistenz der Produkte zu gewährleisten.

Zentrale Merkmale dank Elektroforming

precision apertures
Hohe Präzision mit extremer Merkmalgenauigkeit
Hochpräzise Metallteile können mit einer extremen Genauigkeit von bis zu ±1 μm hergestellt werden.
Überlegene mechanische und elektrische Stabilität
Materialien mit überlegener mechanischer und elektrischer Stabilität, die zu längerer Lebensdauer und besserer Leistung führt.
Co-Entwicklung mit Entwurfsflexibilität
Mit verschiedenen Elektroforming-Verfahren kann eine Vielzahl von verschiedenen Typen gemeinsam entwickelt werden.

Technische Spezifikationen

Material: Vielzahl von Legierungen möglich
Dicke: 70-140 μm
Abmessungen: 60 μm bis mehrere Millimeter
Überlegene mechanische und elektrische Stabilität
Hochgradig automatisierte Produktion mit 100-prozentiger Inspektion für höchste Qualität
Mehrschichtige Struktur möglich
Mit Veco gemeinsam entwickeln
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